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Thermo Scientific Scios 2 DualBeam 是一套超高分辨率的分析 聚焦離子束掃描電子顯微鏡 (FIB-SEM) 系統(tǒng),可為包括磁性和非導(dǎo)電材料在內(nèi)的各種樣品提供出色的樣品制備與 3D 表征性能 。Scios 2 DualBeam 通過創(chuàng)新的功能設(shè)計提高了通量、精度以及易用性,是滿足科學(xué)家和工程師在學(xué)術(shù)、政府以及工業(yè)研究域高研究和分析需求的理想解決方案。
通常需要進行亞表面或三維表征以更好地理解樣品的結(jié)構(gòu)和性質(zhì)。Scios 2 DualBeam 及可選配的 Thermo Scientific Auto Slice & View 4 (AS&V4) 軟件可提供高質(zhì)量、全自動的多模式 3D 數(shù)據(jù)集采集,包括用于大材料對比度的背散射電子 (BSE) 成像、用于組成信息的能量色散光譜 (EDS) 以及用于微觀結(jié)構(gòu)和晶體學(xué)信息的電子背散射衍射 (EBSD)。與 Thermo Scientific Avizo 軟件組合使用后,Scios 2 DualBeam 可為納米的高分辨率、高 3D 表征以及分析提供獨特的工作流程解決方案。
創(chuàng)新的 NICol 電子色譜柱為系統(tǒng)的高分辨率成像和檢測能力提供了基礎(chǔ)。它適用于多種工作條件,無論是在 30 keV 的 STEM 模式下(訪問結(jié)構(gòu)信息)還是以較低能量(獲得無電荷的詳細表面信息)運行,都可以提供出色的納米細節(jié)。Scios 2 DualBeam 具有獨特的鏡筒內(nèi) Thermo Scientific Trinity 檢測系統(tǒng),用于同時采集角和能量選擇二電子 (SE) 以及 BSE 成像數(shù)據(jù)。不僅可以快速訪問從上到下的詳細納米信息,還可快速訪問傾斜的樣品或交叉切片的信息。可選配的透鏡下檢測器和電子束減速模式可以快速、便捷地同時采集所有信號,揭示材料表面或交叉切片中小的特征。借助獨特的、具有全自動對齊功能的 NICol 色譜柱,可獲得快速、準(zhǔn)確、可重現(xiàn)的結(jié)果。
科學(xué)家和工程師不斷面臨新的挑戰(zhàn)、需要對越來越復(fù)雜的樣品的更小特征進行高度局部表征。Scios 2 DualBeam 的新技術(shù)創(chuàng)新與可選、易用和全面的 Thermo Scientific AutoTEM 4 軟件以及賽默飛世爾科技的應(yīng)用業(yè)知識相結(jié)合后,可支持客戶快速方便地制備用于多種材料的 自定義高分辨率 S/TEM 樣品。為了獲得高質(zhì)量結(jié)果,需要使用低能量離子進行終拋光,以盡可能減少對樣品表面的損壞。Thermo Scientific Sidewinder HT 聚焦離子束 (FIB) 鏡筒不僅能夠在高電壓下具有高分辨率成像和銑削能力,還具有良好的低電壓性能,能夠創(chuàng)建高質(zhì)量的 TEM 薄片。
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主要特點
使用 Sidewinder HT 離子柱獲得高質(zhì)量、現(xiàn)場特定的 TEM 和原子探針樣品。
使用在廣泛的樣品范圍(包括磁性和非導(dǎo)電材料)內(nèi)具有一流性能的 Thermo Scientific NICol 電子色譜柱。
通過各種集成式色譜柱內(nèi)和透鏡下檢測器獲得清晰、精確和無電荷的對比度。
使用可選配的 AS&V4 軟件,通過精確靶向感興趣區(qū)域來獲得高質(zhì)量、多模式亞表面和 3D 信息。
高度靈活的 110 mm 載物臺和腔室內(nèi) Thermo Scientific Nav-Cam 攝像機允許根據(jù)具體應(yīng)用需求進行定制。
具有用模式,如 DCFI、漂移抑制和 Thermo Scientific SmartScan 模式。
靈活的 DualBeam 配置,包括可選配的高 500 Pa 腔室壓力低真空模式,可滿足具體的應(yīng)用要求。
規(guī)格
電子束分辨率 | |
電子束參數(shù)空間 | |
離子光學(xué)系統(tǒng) | |
檢測器 | |
載物臺和樣品 | 靈活的 5 軸電動平臺: |
原創(chuàng)作者:圣賓儀器科技(上海)有限公司
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